泉源：科技日报
清亮水务集团有限公司科技日报记者 金凤
30日，， ，，，记者从东南大学获悉，， ，，，该校物理学院教授王金兰团队携手南京大学教授王欣然团队，， ，，，基于金属有机化学气相沉积手艺，， ，，，通过氧辅助战略精准调控生长动力学，， ，，，解决了古板手艺中碳污染、晶畴尺寸小、迁徙率低等挑战，， ，，，乐成突破了6英寸过渡金属硫化物二维半导体单晶量产焦点手艺难题，， ，，，为二维半导体工业化迈出要害一步。。。。。。相关研究效果1月30日揭晓于国际学术期刊《科学》。。。。。。
王金兰先容，， ，，，随着晶体管尺寸迫近物理极限，， ，，，古板硅基手艺面临亘古未有的挑战。。。。。。以二硫化钼为代表的二维半导体质料因其优异的电学特征，， ，，，被视为后摩尔时代最具潜力的非硅新质料。。。。。。
然而，， ，，，二维半导体的工业化制备恒久以来面临两大挑战。。。。。。一是需要大尺寸、低对称性的衬底作为外延模板，， ，，，包管薄膜的定向生长；；；；；；；；二是二维质料的原子级厚度使其对生长动力学极其敏感。。。。。。
王金兰说，， ，，，针对这些难题，， ，，，团队在制备二维半导体的历程中引入氧气，， ，，，立异设计质料生长的预反应腔结构，， ，，，在高温下使氧气与前驱体充分预反应，， ，，，这降低了反应历程的能量障碍，， ，，，使前驱物反应速率提升约1000倍以上。。。。。。
效果显示，， ，，，新计划使二硫化钼晶畴的生长速率较古板要领大幅提升，， ，，，晶畴平均尺寸从百纳米级提升至数百微米，， ，，，并沿特定晶向有序排列，， ，，，解决了二维半导体大面积匀称生长的量产化难题，， ，，，还可以抑制含碳中心体的形成，， ，，，从而彻底解决碳污染问题。。。。。。
王金兰体现，， ，，，这一效果不但验证清亮水务集团有限公司了“动力学调控提升质料生长质量”的理论展望，， ，，，更标记着二维半导体单晶量产焦点手艺取得实质性突破，， ，，，为其在集成电路、柔性电子及传感器等领域的规�；；；；；；；；τ玫于酥柿匣�。。。。。。