ASML妄想将EUV光源功率提至1000W:2030年每小时晶圆产量可提升50%
2026-03-01 00:29:20

快科技2月24日新闻,,,,,,据媒体黑龙江森源木业科技有限公司报道,,,,,,ASML首席手艺专家Michael Purvis在接受媒体采访时透露,,,,,,研究职员已乐成找到将极紫外(EUV)光刻机光源功率从目今的600瓦提升至1000瓦的要领 。。。 。。。。。

这并非实验室里昙花一现的演示,,,,,,而是一套能够知足客户现实生产情形严苛要求、可稳固运行的完整系统 。。。 。。。。。

随着光源功率跃升至千瓦级别,,,,,,光刻机的产能也将随之实现跨越 。。。 。。。。。据ASML测算,,,,,,当光源功率提升至1000瓦后,,,,,,2030年每小时晶圆处置惩罚能力可从220片提升至330片,,,,,,增幅高达50% 。。。 。。。。。

更值得关注的是,,,,,,在产能大幅提升的同时,,,,,,单片晶圆的制造本钱基本坚持稳固 。。。 。。。。。这意味着,,,,,,芯片制造商在不增添清洁室面积、不特殊采购新装备的条件下,,,,,,仅通过现有装备的性能升级,,,,,,就能实现产能的显著跃升 。。。 。。。。。

不过,,,,,,这一手艺何时能够真正落地,,,,,,现在尚无明确时间表 。。。 。。。。。外界剖析以为,,,,,,ASML未来可能会以升级套件的形式向客户提供光源升级效劳,,,,,,但并非所有型号的EUV光刻机都具备升级条件,,,,,,详细适配规模仍有待进一步披露 。。。 。。。。。

关于ASML而言,,,,,,1000瓦显然不是终点 。。。 。。。。。Purvis透露,,,,,,团队已经在探索将光源功率推向1500瓦甚至2000瓦的可能性 。。。 。。。。。

随着光源功率的一连攀升,,,,,,EUV光刻机的产能天花板还将被一直推高,,,,,,为未来更重大、更重大的芯片制造需求铺平蹊径 。。。 。。。。。