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广东广粤新能源质料有限公司◎ 科技日报记者 付毅飞
记者2月4日从中电科电子装备集团有限公司（以下简称电科装备）获悉，，，，，， ，克日，，，，，， ，由电科装备下属北京中电科公司自主研制的海内首台套12英寸碳化硅晶锭减薄装备、衬底减薄装备乐成发货，，，，，， ，顺遂交付行业龙头企业，，，，，， ，标记着国产装备在大尺寸碳化硅加工领域实现新突破，，，，，， ，为大尺寸衬底产能升级提供主要装备包管。。。。。
此次推出的两款装备划分针对晶锭和衬底减薄的差别工艺难点，，，，，， ，实现了要害手艺突破：晶锭减薄机立异接纳自动化抓取与吸附双模式搬送系统，，，，，， ，可确保大尺寸晶锭的稳固高效传输，，，，，， ，大幅缩短加工周期，，，，，， ，适配规�；；；；； ；坎枨�；；；；； ；衬底减薄机则集成自主研发的超细密空气主轴与气浮承片台等要害轴系，，，，，， ，可将晶圆片内厚度误差稳固控制在1微米以内，，，，，， ，攻克了匀称性控制难题，，，，，， ，抵达国际先进水平。。。。。
别的，，，，，， ，两款装备均为全自动装备，，，，，， ，知足大尺寸产线无人化、智能化生产需要，，，，，， ，搭配电科装备自研的激光剥离装备，，，，，， ，在减薄和剥离工艺高效协同下，，，，，， ，可将质料消耗降低30%以上，，，，，， ，在进一步包管加工品质一致性的同时，，，，，， ，提升产线量产能力、强化本钱控制。。。。。
后续，，，，，， ，电科装备将着力突破大尺寸碳化硅加工装备系列化研发与规�；；；；； ；τ玫囊ζ烤保�，，，，， ，助力我国第三代半导体工业链向高端跃升。。。。。
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